[发明专利]一种旋转感应热沉积制备涂层或薄膜的装置及方法

摘要

一种旋转感应热沉积制备涂层或薄膜的装置及方法，该装置包括感应电源，冷水机，可通不断冷却循环待沉积溶液，在感应圈内放置的沉积槽，放置在沉积槽内与样件相连的旋转杆，起密封作用且可穿过高速旋转杆的密封盖，以及与旋转杆相连的高速搅拌器。本发明使感应热沉积中的试样处于高速旋转中，将试样的旋转与感应热沉积过程融为一体，不仅保持了感应热沉积工艺非线性的优点，而且在不改变涂层或薄膜组成的情况下，可以大幅提高涂层或薄膜与基体的结合强度，达临界载荷45N以上。

主权项

一种旋转感应热沉积制备涂层或薄膜的装置，其特征在于：包括感应电源(6)以及与感应电源(6)相连的冷水机(7)和感应线圈(5)，在感应线圈内设置有沉积槽(4)，在沉积槽(4)内设置有用于夹持试样的旋转杆(12)，该旋转杆与设置在沉积槽(4)上端的高速搅拌器(11)相连，且在所述沉积槽(4)上还设置有密封盖(13)，沉积槽(4)还通过出液管(10)、冷却管(9)、循环泵(2)、回液管(3)与溶液槽(1)相连形成闭合回路。