[发明专利]检测高纯硅成分分析用的挥硅实验装置

摘要

本发明公开了检测高纯硅成分分析用的挥硅实验装置，包括封闭式或半封闭式的实验柜体，所述实验柜体中间是实验腔体，其特征在于：在实验腔体内设置有密闭的挥发实验柜，在挥发实验柜下部设置有实验柜加热装置，在可控条件下对设置在挥发实验腔内的实验容器进行加热；在挥发实验柜上设置有吸收管道与挥发实验柜的内腔连通，在吸收管道上设置有吸收处理装置；设置有实验气体源，实验气体源通过管道通入挥发实验柜的内腔。本发明的实验装置，提高在硅及其衍生物分析中样品处理的安全性和样品处理的平行性；把样品处理过程中硅里面其它成分的损失降到最低；能极大的缩短样品处理的时间；能提高实验的可靠性。

主权项

检测高纯硅成分分析用的挥硅实验装置，包括封闭式或半封闭式的实验柜体（1），所述实验柜体（1）中间形成中空的实验腔体（2），其特征在于：在实验腔体（2）内设置有密闭的挥发实验柜（3），在挥发实验柜（3）下部设置有实验柜加热装置（4），在可控条件下对设置在挥发实验腔（3）内的实验容器（5）进行加热；在挥发实验柜（3）上设置有吸收管道（6）与挥发实验柜（3）的内腔连通，在吸收管道（6）上设置有吸收处理装置（7）；                          在实验柜体（1）的内部或外部，设置有实验气体源（8），实验气体源（8）通过管道（9）通入挥发实验柜（3）的内腔。