[发明专利]一种纳米晶碳氮薄膜的制备方法及装置

摘要

本发明属于纳米材料技术领域，特别涉及一种纳米晶碳氮薄膜的制备方法及装置。把预处理好的基片放入高温管式炉中，通入载气排尽反应系统中的空气后，将液态的含碳氮组分的工作液抽入到预混合管中与载气混合，待预混合管温度超过工作液的沸点温度后，工作液蒸汽与载气进入高温管式炉中高温热解沉积得到纳米晶碳氮薄膜。本发明方法合成的纳米晶碳氮薄膜均匀、致密、无杂质，结晶性好，摩擦学性能优异。实验设备简单、工艺稳定、可靠，重复性好，易于工业化生产。

主权项

一种纳米晶碳氮薄膜的制备方法，其特征在于，把预处理好的基片放入高温管式炉中，通入载气排尽反应系统中的空气后，将液态的含碳氮组分的工作液抽入到预混合管中与载气混合，待预混合管温度超过工作液的沸点温度后，工作液蒸汽与载气进入高温管式炉中高温热解沉积得到纳米晶碳氮薄膜。