[发明专利]激光刻蚀OLED显示器阳极薄膜材料的装置及其方法

摘要

本发明涉及激光刻蚀OLED显示器阳极薄膜材料的装置及方法，高频率短脉冲激光器的输出端布置有电动光闸，电动光闸的输出端设置有电动扩束镜，电动扩束镜的输出端依次布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端布置有振镜和扫描场镜，扫描场镜正对于三轴吸附平台，三轴吸附平台上的一侧安装有离子风吹气系统，另一侧安装有集尘系统，三轴吸附平台上的对角位置分别安装有CCD对位观察系统，高频率短脉冲激光器和振镜均连接至工控机。通过不同波长的高频率的脉冲激光器作为激光源，对OLED显示器阳极材料进行激光蚀刻，使OLED显示器阳极材料在高频率的短脉冲激光器的作用下气化而达到蚀除的目的，加工出无污染、线性稳定、功能完好的OLED显示器产品。

主权项

激光刻蚀OLED显示器阳极薄膜材料的装置，其特征在于：高频率短脉冲激光器（1）的输出端布置有电动光闸（2），电动光闸（2）的输出端设置有电动扩束镜（3），电动扩束镜（3）的输出端布置有45度全反射镜（4），45度全反射镜（4）的输出端依次布置有振镜（5）和扫描场镜（6），扫描场镜（6）正对于三轴吸附平台（10），所述三轴吸附平台（10）上的一侧安装有离子风吹气系统（11），所述三轴吸附平台（10）上的另一侧安装有集尘系统（8），所述三轴吸附平台（10）上的对角位置分别安装有CCD对位观察系统（7），所述高频率短脉冲激光器（1）和振镜（5）均连接至工控机（12），所述三轴吸附平台（10）上设有平台真空吸附孔（14），平台真空吸附孔（14）通过真空吸附连接气管（15）与真空泵（16）相连通。