[发明专利]一种长程抛光稳定间隙装置

摘要

一种长程抛光稳定间隙装置属于光学冷加工技术领域，该装置包括：控制阀，流量传感器，压力传感器，旋转连接器，主轴，压电陶瓷堆，框架，喷液磨头和控制器。该装置通过使喷液磨头与工件表面的距离保持稳定，避免了由于机床、装夹和工件表面本身精度的不足，对抛光过程带来的不利影响，使抛光过程更为稳定，提高了抛光质量。同时，可在工艺不变的情况下，降低对机床、装夹的精度要求。

主权项

一种长程抛光稳定间隙装置，其特征在于，该装置包括：控制阀(1)，流量传感器(2)，压力传感器(3)，旋转连接器(4)，主轴(5)，压电陶瓷堆(6)，框架(7)，喷液磨头(8)，控制器(10)；其中控制阀(1)与流量传感器(2)相连，流量传感器(2)与压力传感器(3)相连，压力传感器(3)通过旋转连接器(4)与主轴(5)相连，主轴(5)下面连接压电陶瓷堆(6)和喷液磨头(8)，压电陶瓷堆(6)镶嵌在框架(7)里，压电陶瓷堆(6)与框架(7)和主轴(5)的连接均为螺纹连接，主轴(5)穿过框架(7)与喷液磨头(8)相连，控制器(10)分别与控制阀(1)、流量传感器(2)、压力传感器(3)和压电陶瓷堆(6)相连。