[发明专利]静电驱动电容检测微固体模态陀螺无效
| 申请号： | 201110206941.7 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN102288173A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吴校生;王铮;胡小骏;陈文元;张卫平;崔峰;刘武 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机电技术领域的静电驱动电容检测的微固体模态陀螺，包括弹性微振子以及位于其周围的参考振动驱动电极、参考振动感应电极、科氏力感应电极，利用弹性微振子的两个兼并的特殊振动模态进行工作，即参考振动和感应振动模态，采用静电力进行驱动，可变电容机理来检测参考振动和科氏力感应振动。本发明中无独立的质量弹簧结构，具有高的抗冲击、抗震动能力，可用于恶劣环境中；工作频率高，利于增大微陀螺的测量带宽和降噪；可工作在大气环境下，减小了封装的难度，可靠性提高，生产成本减低；采用静电激励和电容检测，便于微固体模态陀螺和CMOS测控电路进行集成，易于批量化生产，同时也减小了寄生电阻或电容的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 电容 检测 固体 陀螺 | ||
【主权项】：
一种静电驱动电容检测的微固体模态陀螺，包括：弹性微振子、参考振动驱动电极、参考振动感应电极、科氏力感应电极，其中弹性微振子、参考振动驱动电极、参考振动感应电极、科氏力感应电极都是通过下表面进行固定，它们都是相互独立的；参考振动驱动电极、参考振动感应电极和科氏力感应电极位于弹性微振子的周围，且侧壁和弹性微振子侧壁之间有间隙，形成驱动振动激励和感应振动检测的极间距可变电容。
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