[发明专利]低温干涉仪

摘要

本发明公开了一种低温干涉仪，它包括动镜模块、定镜模块、分束器模块、干涉仪框架、传热板、隔热支撑筒、以稳频激光器为代表的光程差度量系统、以气动元件和储气筒为代表的动镜锁定装置、干涉仪安装基板等组成。这种干涉仪仪能在200K的低温下工作。

主权项

一种低温干涉仪，它包括：动镜模块(7)、定镜模块(4)、分束器模块(6)、干涉仪框架(5)、传热板(3)、冷链接口(12)、隔热支撑筒(2)、稳频激光器(9)、激光探测器(1)、以及包括气动元件(8)和储气筒(10)的动镜锁定装置和干涉仪安装基板(11)，其特征在于：所述的动镜模块(7)由平动机构和平面反射镜构成；所述的定镜模块(4)由两维角度调节架和平面反射镜组成；所述的分束器模块(6)由光学分束片、补偿片和保持架组成；动镜模块(7)、定镜模块(4)和分束器模块(6)构成基本的干涉仪；传热板(3)与冷链连接，使干涉仪温度下降，形成低温；光程差度量系统由稳频激光器(9)、激光探测器(1)以及波片和一些反射镜构成；所述的动镜锁定装置由气动元件、储气筒、电磁阀、压力传感器和一些管路和接头构成；所述的干涉仪结构上分成两大部分，一部分是隔热支撑筒(2)上方的部分，它是低温光学部分，低温是通过冷链接口(12)耦合的，另一部分是隔热支撑筒(2)下方的部分，它是常温部分；冷光学元件支撑按温度补偿原理设计，避免光学元件从常温到低温的变化造成面形改变；由于机械结构从常温到低温不能保证两干涉光束的平行度保持不变，本发明的干涉仪中加入了两维角度调节机构，在温度降低后，启动角度调节机构，将两干涉光束再次校回到相互平行；动镜模块(7)的平动机构采用弹性元件支撑运动部分，通过不同材料组合，使平动机构零件间的预紧力对温度变化不敏感；光程差度量模块的激光器和激光探测器安装于常温基板(11)上，保证它们的常温工作环境；锁定模块的气动元件(8)在低温区，其余部分在常温区，保证了电磁阀的正常工作；气动元件(8)与储气罐(10)之间的连接气管用利于冷热区域隔离的非金属材料制成。