[发明专利]用于气体传感器的场效应晶体管

摘要

本发明涉及场效应晶体管、尤其用于气体传感器的化学敏感的场效应晶体管。为了提高该场绝缘层（1）、栅绝缘层（2）和/或印制导线（3）和其下的欧姆触点的温度稳定性和化学稳定性，或为了提供栅绝缘层，该场效应晶体管包含有至少一个层系统（11，12，13；21，22，23），该层系统由基层（11；21）、覆盖层（13；23）和设置在该基层（11；21）与该覆盖层（13；23）之间的至少一个中间层（12；22）组成。此外本发明还涉及用于制造这种场效应晶体管的方法以及其应用。

主权项

一种场效应晶体管，尤其用于气体传感器的化学敏感的场效应晶体管，至少包含有‑场绝缘层（1）， ‑栅绝缘层（2）和‑金属层（3），尤其印制导线，其特征在于，所述层（1，2，3）的至少之一至少部分地覆盖有至少一个层系统（11，12，13；21，22，23）、尤其保护层系统，其中该层系统包含有基层（11；21）、覆盖层（13；23）和设置在该基层（11；21）与该覆盖层（13；23）之间的至少一个中间层（12；22）。