[发明专利]一种带状束流离子源电源控制系统无效
| 申请号： | 201110186473.1 | 申请日： | 2011-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN102867721A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 张继恒;唐景庭;孙勇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/302 | 分类号： | H01J37/302;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带状束流离子源电源控制系统，包括：主控计算机(1)、光纤通信控制卡(2)、I/O信号控制器(3)、灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源(6)。其特征在于光纤通信卡(2)插在主控计算机(1)的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和I/O信号控制器(3)之间通过光纤连接传输数据。两个灯丝电源(4)、两个偏压电源(5)、一个弧压电源(6)的控制端分别和I/O信号控制器(3)的信号端用导线连接，同时这三种电源的电源输出端分别和离子源灯丝(7)、阴极(8)和弧室壁(9)相连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带状 流离 电源 控制系统 | ||
【主权项】：
本发明提供一种带状束流离子源电源控制系统，包括：主控计算机(1)、光纤通信控制卡(2)、I/O信号控制器(3)、灯丝电源(4)、偏压电源(5)、弧压电源(6)。其特征在于灯丝电源(4)是两个，偏压电源(5)是两个，弧压电源(6)是一个。
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