[发明专利]采用液相生长法的ZnO单晶的制造方法无效
申请号: | 201110180017.6 | 申请日: | 2007-02-28 |
公开(公告)号: | CN102251281A | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
发明(设计)人: | 关和秀幸;小林纯;宫本美幸 | 申请(专利权)人: | 三菱瓦斯化学株式会社 |
主分类号: | C30B29/16 | 分类号: | C30B29/16;C30B9/12;C30B15/00;C30B19/02;H01L21/02 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 崔香丹;张永康 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种采用液相生长法的ZnO单晶的制造方法,其特征在于,使作为溶质的ZnO与作为溶剂的PbF2及PbO或与作为溶剂的PbO及Bi2O3混合熔解,然后,使种晶或基板与该熔液直接接触,从而使ZnO单晶在种晶上或基板上生长。本发明提供一种用液相生长法制造位错、缺陷、着色等少的高品质的ZnO单晶的方法。 | ||
搜索关键词: | 采用 相生 长法 zno 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种采用液相生长法的ZnO单晶的制造方法,其特征在于,使作为溶质的ZnO与作为溶剂的PbO及Bi2O3混合熔解,然后,使种晶或基板与得到的熔液直接接触,从而使ZnO单晶在种晶上或基板上生长。
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