[发明专利]硅微动调混合陀螺仪闭环检测装置

摘要

本发明公开一种硅微动调混合陀螺仪闭环检测装置，其包括信号器、力矩器和信号处理模块；信号器包括2对信号检测电极；力矩器包括2对力矩反馈电极；分别用于敏感陀螺仪上2个轴的输入角速度和平衡输入力矩。信号处理模块包括调制载波信号、预载高压、前置放大电路、信号解调电路、差分放大电路和交直流叠加电路。信号检测电极检测到的两轴信号通过前置放大电路放大后进行信号解调；每个解调后检测信号分别通过两个差分放大电路，与预载高压进行同相和反相运算后放大输出，输出的反馈电压信号通过交直流叠加电路与一对反相调制载波信号叠加，然后输出至力矩反馈电极。本发明采用电容检测和静电力反馈形式解决了硅微动调混合陀螺仪的调谐难题。

主权项

一种硅微动调混合陀螺仪闭环检测装置，包括信号器、力矩器、信号处理模块；其特征是，所述信号器为电容信号器，包括2对信号检测电极；力矩器为电容力矩器，包括2对力矩反馈电极；各电极的极板均平行于陀螺仪转子设置；1对信号检测电极对应1对力矩反馈电极，用于敏感陀螺仪上1个轴的输入角速度和平衡输入力矩； 所述信号处理模块包括调制载波信号、预载高压、前置放大电路、信号解调电路、差分放大电路和交直流叠加电路；调制载波信号为2对，每1对中的2个调制载波信号频率相同、幅值相同、相位相反；信号检测电极检测到的两轴信号通过前置放大电路进行放大，后通过信号解调电路对两轴信号，以相应的基波为参考进行信号解调；解调后的两轴检测信号分别输入至两个差分放大电路的同向输入端和反向输入端；同时预载高压分别输入至上述两个差分放大电路的同向输入端；差分放大电路的输出端输出反馈电压信号， 输出的反馈电压信号通过交直流叠加电路与一对反相的调制载波信号叠加，然后输出至力矩反馈电极。