[发明专利]用于旋转靶的配电装置无效
| 申请号: | 201110177147.4 | 申请日: | 2011-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN102251223A | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
| 发明(设计)人: | 黄峰 | 申请(专利权)人: | 黄峰 |
| 主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;H01R35/00 |
| 代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 陈忠辉 |
| 地址: | 215627 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种用于旋转靶的配电装置,包括有导电杆头,特点是:导电杆头顶端设置有容纳槽,容纳槽内设置有电极碳刷组件。由此,实现了分离式的构造,便于后续的维护与替换。同时,能够有效适应旋转式驱动为主的镀膜装置使用需求,能够顺畅旋转。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 旋转 配电装置 | ||
【主权项】:
用于旋转靶的配电装置,包括有导电杆头,其特征在于:所述的导电杆头顶端设置有容纳槽,所述的容纳槽内设置有电极碳刷组件。
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