[发明专利]化学机械抛光的抛光液及输送系统无效
| 申请号： | 201110170072.7 | 申请日： | 2011-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN102773804A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 刘立中;陈逸男;刘献文 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光的抛光液混合及输送系统，包括至少一容器，用于容纳抛光液、一泵浦，连接至所述容器，用于将所述抛光液输送至使用端、以及一抛光液分散单元，设置于所述泵浦与所述的使用端间，所述的抛光液分散单元提供超声波，使流经所述的抛光液分散单元的所述抛光液分散。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 抛光 输送 系统 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光的抛光液混合及输送系统，其特征在于包括：至少一容器，用于容纳一抛光液；一泵浦，连接至所述容器，而将所述抛光液输送至使用端；以及一抛光液分散单元，设置于所述泵浦与所述使用端间，其中，所述抛光液分散单元提供超声波，使流经所述抛光液分散单元的所述抛光液分散。
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