[发明专利]一种投影光刻调焦的图像处理方法

摘要

本发明提供一种投影光刻调焦的图像处理方法，所述的方法首先根据列向求和投影的波峰，初步求得中线位置，进行粗调焦。采用波峰识别方法和图像细分算法对目标线条进行精确定位。进而求得目标线条与指定最佳焦面位置的离焦量，控制工件台运动调整硅片达到最佳焦面位置，提高曝光线条质量和集成电路生产的成品率。该方法具有容易实现，抑制噪声能力强，快速处理的特点。

主权项

一种投影光刻调焦的图像处理方法，其特征在于，所述图像处理的步骤包括：步骤S1：获取待处理图像；步骤S2：对图像进行列向投影求和，根据投影序列像素的最大值所对应的像元位置初步确定目标线条的位置；步骤S3：测量的目标线条是由光源透过狭缝形成的条形光斑经镜组成像在基片上，基片上的条形光斑再由镜组放大后成像在图像传感器CCD的像面上形成的目标线条；根据狭缝的宽度及透镜的放大倍率计算出目标线条的宽度，以目标线条的位置为中心，保留2倍目标线条宽度的像素信息进行图像分割，得到分割的图像；步骤S4：求分割的图像每一行的水平灰度响应，定义每一行水平灰度响应的最大值和最小值之和的2/3为相应的阈值，对每个灰度响应曲线在阈值处进行两点线性插值，求得边界；再由每一行的边界求取每一行的中心位置，得到目标线条的中心点集；步骤S5：应用最小二乘法，将目标线条的中心点集拟合成直线，求出拟合直线与最佳焦面位置的距离d；步骤S6：将距离d与设定的最小误差距离值dg进行比较，如果距离d小于最小误差距离值dg，则结束调焦；如果距离d不小于最小误差距离值dg，则控制工件台运动，调整硅片的上下位置。