[发明专利]一种激光干涉仪测量系统及其测量方法

摘要

一种激光干涉仪测量系统及其测量方法，激光器发出激光；直角长条反射镜安装在载物台侧面，其两个反射面与载物台水平面成45°，激光沿水平方向入射直角长条反射镜，经过两个反射面反射后形成测量光；折射薄膜覆盖探测器，折射薄膜的上表面与水平面成45°，测量光的第一部分以45°入射角入射到折射薄膜表面形成第一相干光；测量光的第二部分通过镜组模块的至少一次反射后，以45°入射角入射到折射薄膜表面形成第二相干光，第一相干光与第二相干光在折射薄膜上位置相同，经过折射薄膜折射后发生干涉形成干涉条纹，被探测器探测；根据干涉条纹的频率计算载物台的垂向运动速率，获得垂向位移。本系统及方法布局简单，不挡住镜头的成像光线。

主权项

一种激光干涉仪测量系统，其特征在于，包括：激光器，发出激光；由两个相互垂直的长条平面镜组成的直角长条反射镜，安装在载物台侧面，所述直角长条反射镜的两个反射面与载物台水平面成45°，所述激光沿水平方向入射到所述直角长条反射镜，经过所述两个反射面的反射后出射形成测量光；接收器模块，包括探测器和折射薄膜，所述折射薄膜覆盖所述探测器，所述测量光的第一部分入射到所述折射薄膜的上表面，形成第一相干光；镜组模块，包括至少一个平面反射镜，为第一平面反射镜，所述测量光的第二部分通过所述镜组模块的至少一次反射后，入射到所述折射薄膜的上表面，形成第二相干光，所述第一相干光与所述第二相干光在所述折射薄膜上的位置相同；所述第一相干光和所述第二相干光经过所述折射薄膜折射后在所述折射薄膜底面发生干涉，形成干涉条纹，所述干涉条纹被所述探测器探测。