[发明专利]一种用于辉光放电溅射深度测量的双激光器在线实时测量装置及方法有效
| 申请号： | 201110161110.2 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102829732A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 李小佳;万真真;王海舟;贾云海;余兴;张胜坤;罗剑秋 | 申请（专利权）人： | 钢铁研究总院 |
| 主分类号： | G01B11/22 | 分类号： | G01B11/22;G01N21/67 |
| 代理公司： | 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) 11248 | 代理人： | 张小娟 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于利用放电来测试材料领域，具体提供了一种用于辉光放电溅射深度测量的双激光器在线实时测量装置及方法。本发明采用两台激光位移传感器(A、B)和Grimm辉光放电光源(GDS)构成在线实时深度测量装置，能够在辉光放电光谱仪进行金属样品分析的同时，实时准确测得样品的溅射深度测量曲线和准确的溅射深度测量结果，为传统辉光深度分析方法中对深度估算不准确的问题提供有效解决方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 辉光 放电 溅射 深度 测量 激光器 在线 实时 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于辉光放电溅射深度测量的双激光器在线实时测量装置，其特征在于：它由辉光放电光谱信号测量单元和双激光器溅射深度测量单元组成，包括辉光放电光源(GDS)、第一激光位移传感器(A)、第二激光位移传感器(B)以及光纤(d)，能够实现辉光放电光谱信号与溅射深度信号的同步测量；其中辉光放电光源(GDS)包括第一石英观测窗(a)以及第二石英观测窗(b)；第一激光位移传感器(A)及第二激光位移传感器(B)处于辉光放电光源(c)的同一侧，且第一激光位移传感器(A)位于第一石英观测窗(a)的后方，正对样品(e)溅射坑，实时测量样品溅射深度；第二激光器(B)位于第二石英观测窗(b)的后方，用来测量样品(e)未溅射表面的位移。
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