[发明专利]阴极电弧的磁场调节装置无效
| 申请号： | 201110160393.9 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102226269A | 公开（公告）日： | 2011-10-26 |
| 发明（设计）人： | 赵红艳;钱涛 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层科技（苏州工业园区）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215022 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种阴极电弧的磁场调节装置，包括一阴极底座，所述阴极底座的上表面开设有上凹槽，所述上凹槽内固定连接有一阴极电弧靶，所述阴极底座的下表面开设有与所述上凹槽对应的下凹槽，所述下凹槽内放置有一磁铁，所述磁铁固定连接在一升降支架上。本发明在阴极电弧镀膜过程中，根据靶面的消耗情况将磁场后移，并通过调整带刻度的调节螺栓，可精确地控制每次调整的距离，从而保持靶面磁场强度的一致性，弧电流稳定，沉积速率相等，膜层性能均匀。本发明结构简单，调节方便、灵活，镀膜效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 电弧 磁场 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种阴极电弧的磁场调节装置，包括一阴极底座，所述阴极底座的上表面开设有上凹槽，所述上凹槽内固定连接有一阴极电弧靶，其特征在于：所述阴极底座的下表面开设有与所述上凹槽对应的下凹槽，所述下凹槽内放置有一磁铁，所述磁铁固定连接在一升降支架上。
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