[发明专利]除去装置有效
| 申请号： | 201110148763.7 | 申请日： | 2011-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102310267A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 赤井敏男;高桥昌见 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/16 | 分类号： | B23K26/16;B23K26/36 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可将形成在绝缘基板上的膜良好地除去的除去装置。照射部(40)一面照射激光(40a)，一面相对于保持单元(10)而相对性地被移动。此外，吸引部(50)在保持与照射部(40)的位置关系的状态下，与照射部(40)一起相对于保持单元(10)而相对性地被移动。由此，从照射部(40)照射的激光(40a)从绝缘基板(5)的下侧入射至绝缘基板(5)，并到达形成在绝缘基板(5)上的膜(6)。而且，通过该激光(40a)从绝缘基板(5)上除去的膜(6)的构成物质，在除去后迅速地被设置在照射部(40)正上方的吸引部(50)吸引。 | ||
| 搜索关键词： | 除去 装置 | ||
【主权项】：
一种除去装置，从具有透光性的绝缘基板上除去膜，其特征在于包括：保持单元，其以使上述膜成为上侧的方式保持上述绝缘基板；除去吸引单元，其从上述绝缘基板上除去及吸引上述膜；以及驱动单元，其使上述除去吸引单元相对于上述保持单元而相对性地移动；且上述除去吸引单元包括：照射部，其设置在由上述保持单元所保持的上述绝缘基板的下方，对形成在上述绝缘基板上的上述膜照射激光；以及吸引部，其设置在由上述保持单元所保持的上述绝缘基板的上方且上述照射部的正上方，对通过上述激光的照射而除去的上述膜的构成物质进行吸引；上述驱动单元使维持相互的位置关系的上述照射部及上述吸引部相对于上述保持单元而相对性地移动。
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