[发明专利]多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量玻璃厚度的装置及方法

摘要

多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量玻璃厚度的装置及方法，它涉及多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量玻璃厚度的装置及方法。它为解决现有基于多光束激光外差检测的动态测角算法采集的激光差频信号质量和信号处理的运算速度均不理想的问题而提出。所述方法为：调节平面反射镜和待测厚度玻璃板的位置；振镜做简谐振动的同时打开激光器；信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并对采集到的信号进行处理，获得待测厚度玻璃板的厚度。它具有采集的激光差频信号质量高和信号处理的运算速度快的突出优点。它可以广泛的应用于激光雷达、机械、仪器仪表和电子产品制造业中。

主权项

多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量玻璃厚度的装置，其特征在于所述装置由激光器(1)、偏振分束镜PBS(2)、四分之一波片(3)、振镜(4)、平面反射镜(5)、待测厚度玻璃板(6)、会聚透镜(7)、光电探测器(8)和信号处理系统(9)组成，激光器(1)发出的线偏振光经偏振分束镜PBS(2)反射后入射至四分之一波片(3)，经该四分之一波片(3)透射后的光束入射至振镜(4)的光接收面，经该振镜(4)反射的光束再次经四分之一波片(3)透射后发送至偏振分束镜PBS(2)，经该偏振分束镜PBS(2)透射后的光束入射至平面反射镜(5)的反射面，经该平面反射镜(5)反射后的光束入射至待测厚度玻璃板(6)，经该待测厚度玻璃板(6)前表面透射的光束在该待测厚度玻璃板(6)内、经该待测厚度玻璃板(6)的后表面和前表面多次反射后获得多束反射光，该多束反射光经该待测厚度玻璃板(6)的前表面透射之后与经该待测厚度玻璃板(6)前表面反射后的光束均通过会聚透镜(7)汇聚至光电探测器(8)的光敏面上，所述光电探测器(8)输出电信号给信号处理系统(9)。