[发明专利]粒子源及其制造方法有效
| 申请号： | 201110137252.5 | 申请日： | 2011-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN102789946A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 刘华荣;陈娉 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/06;H01J9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吕雁葭 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种粒子源，包括：底座，具有平缓的顶部；和针尖，形成为底座顶部上的微小突起。本发明的粒子源能够提供大束流密度和小束流角。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种粒子源，包括：底座，具有平缓的顶部；和针尖，形成为底座顶部上的微小突起。
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