[发明专利]基于光源光强正弦调制的双折射检测装置和检测方法无效
| 申请号: | 201110129456.4 | 申请日: | 2011-05-18 |
| 公开(公告)号: | CN102288549A | 公开(公告)日: | 2011-12-21 |
| 发明(设计)人: | 杨朝兴;李中梁;王向朝 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G01N21/23 | 分类号: | G01N21/23 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
| 地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 一种基于光源光强正弦调制的双折射检测装置和检测方法,光强经过正弦调制后的激光束,通过起偏器、第一光弹调制器、被测物体、第二光弹调制器和检偏器后由光电探测器检测,光电探测器检测的信号经过处理,得到谐波信号,由谐波信号得到被测物体双折射的延迟δ和主轴角度ρ。本发明的测量结果不受直流噪声(直流项,趋势项,非线性放大等)的影响,可以在保证精度的同时,测量低透过率光学材料的双折射。 | ||
| 搜索关键词: | 基于 光源 正弦 调制 双折射 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种基于光源光强正弦调制的双折射检测装置,包括光源(1),特征在于其构成包括沿装置系统光轴依次设置的光源(1),光强正弦调制频率为ω0的光强调制器(2)及其正弦调制信号发生器(10),透光轴角度为45°的起偏器(3),快轴角度为0°、峰值延迟量δ10=2.405rad、调制频率为ω1的第一光弹调制器(4),被测物体(5),快轴角度为45°、峰值延迟量δ20=2.405rad、调制频率为ω2的第二光弹调制器(6),透光轴角度为0°的检偏器(7)和光电探测器(8),还有数据处理模块(9),所述的数据处理模块(9)包括锁相放大器和数据处理程序,该数据处理模块(9)分别与所述的正弦调制信号发生器(10)、第一光弹调制器(4)、第二光弹调制器(6)和光电探测器(8)相连;所述的光源(1)产生的激光束经过起偏器(3)后成为45°线偏振光,其偏振态被第一光弹调制器(4)调制后通过被测物体(5),携带被测物体(5)双折射信息的激光束经过第二光弹调制器(6)调制和检偏器(7)检偏后,其光强信号I被光电探测器(8)检测,送所述的数据处理模块(9)进行处理。
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