[发明专利]一种四元化合物分子束外延组分控制参数设计的方法无效
| 申请号： | 201110126889.4 | 申请日： | 2011-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN102226295A | 公开（公告）日： | 2011-10-26 |
| 发明（设计）人： | 顾溢;张永刚;王凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/40 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 黄志达;谢文凯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种四元化合物分子束外延组分控制参数设计的方法，包括：(1)利用标定生长试验获得四元化合物材料组分与束源束流强度的关系式；(2)根据组分与束源束流强度的关系来设计生长所需组分材料的生长参数。本发明为分子束外延生长四元化合物半导体的组分调节提供了依据，方便地设计生长参数，实现对包含三种同族元素的四元化合物半导体组分的精确控制，提高新组分外延材料生长的效率。本发明适合于不同的材料体系，具有很好的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化合物 分子 外延 组分 控制 参数 设计 方法 | ||
【主权项】：
一种四元化合物分子束外延组分控制参数设计的方法，包括：(1)利用标定生长试验获得四元化合物材料组分与束源束流强度的关系式；(2)根据上述组分与束源束流强度的关系来设计生长所需组分材料的生长参数。
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