[发明专利]等应力梁法检测石墨烯压阻因子无效
| 申请号： | 201110115687.X | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102253285A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 郑晓虎 | 申请（专利权）人： | 淮阴工学院 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01L1/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明本发明涉及的石墨烯压阻因子的检测技术，属于纳米材料检测技术领域。该技术包括以下实施步骤：1.首先在石墨烯样品上制作出检测电极，采用键合技术分别在电极端部进行引线用于检测电阻变化。电极尺寸、间距可根据石墨烯样品尺寸调节。2.采用等应力悬臂梁4作为应变施加介质，在等应力梁端部施加集中力使梁产生弯曲变形，测量粘贴其上的石墨烯2与应变片3的电阻变化。3.将相关数据带入压阻因子定义公式，计算得到石墨烯压阻因子。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 检测 石墨 烯压阻 因子 | ||
【主权项】：
一种用于石墨烯压阻因子检测的方法，其特征包括：(1)、采用Lift‑off技术在石墨烯表面制作微米尺度金属电极；(2)、采用等应力悬臂梁作为应变施加载体。(3)、将带有检测电极的石墨烯硅片及高精度应变片粘贴到等应力悬臂梁表面。
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