[发明专利]用于定向凝固法生长单晶硅的装置及其使用方法有效
| 申请号： | 201110102705.0 | 申请日： | 2011-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN102747412A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;武鹏;田义良;杨晓琴 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于定向凝固法生长单晶硅的装置，该装置至少包括炉体(13)、用于支撑炉体的支柱(15)、由支柱支撑的热交换块(4)、放置在热交换块上的坩埚护板(8)、坩埚护板内的用于承装硅料的石英坩埚(9)、固定在石英杆(14)上的加热器(7)、以及由活动连杆(6)控制的侧隔热笼(3)，其特征在于，在坩埚护板外部底侧围绕整个坩埚护板，安装有隔热设备(10)。该装置通过在坩埚护板外部底侧加入隔热设备控制籽晶的熔化，解决了定向凝固法生长单晶硅时底部籽晶完全熔化的问题。本发明还提供使用该装置定向凝固法生长单晶硅的方法，所述方法包括以下步骤：(1)依次将作为籽晶的单晶硅料、多晶硅料和掺杂剂置于坩埚中；(2)加热硅料，使籽晶熔化10％-90％；(3)降低加热器的温度，硅熔体沿籽晶方向定向凝固生长，经退火冷却后得到单晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 定向 凝固 生长 单晶硅 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
用于定向凝固法生长单晶硅的装置，该装置至少包括炉体(13)、用于支撑炉体的支柱(15)、由支柱支撑的热交换块(4)、放置在热交换块上的坩埚护板(8)、坩埚护板内的用于承装硅料的石英坩埚(9)、固定在石英杆(14)上的加热器(7)、以及由活动连杆(6)控制的侧隔热笼(3)，其特征在于，在坩埚护板外部底侧围绕整个坩埚护板，安装有隔热设备(10)。
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