[发明专利]激光光镊装置无效
申请号: | 201110098306.1 | 申请日: | 2011-04-19 |
公开(公告)号: | CN102745643A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
发明(设计)人: | 金石琦 | 申请(专利权)人: | 金石琦 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200072 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种激光光镊装置,由光源系统、激光泵浦源系统、数据处理系统、探测系统、物台系统、光学系统。本发明装置的优点可实现介观尺度微型器件的制做,整个装置全部固化、结构简单、容易操作。 | ||
搜索关键词: | 激光 装置 | ||
【主权项】:
一种激光光镊装置,其特征在于该装置包括激光泵浦源系统(1)、数据处理系统(2)、探测系统(3)、物台系统(4)、光学系统(5)。其位置关系是:激光泵浦源系统1、数据处理系统2、探测系统3、物台系统4、光学系统5,其位置关系是:激光泵浦源系统(1)发射出光后被加工样品置于物台系统(4)之上,物台系统(4)与数据处理系统(2)相连,数据处理系统(2)与探测系统(3)相连,由探测系统(3)探测到的信息输入处理系统(2),由数据处理系统(2)反馈信息控制物台系统(4)按设计进行图样移动。光学系统(5)中光束照到物台系统(4)上辅助图样探测。
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