[发明专利]晶体管数组基板

摘要

本发明涉及一种晶体管数组基板，包括一基板、多条扫描线、多条数据线与多个画素单元。扫描线与数据线皆配置在基板上。各个画素单元包括一晶体管与一画素电极。晶体管电性连接画素电极、扫描线与数据线。各个晶体管包括一闸极、一汲极、一源极、一金属氧化物半导体层与一信道保护层。汲极与源极之间存有一通道间隙。金属氧化物半导体层具有一对彼此相对的侧边缘，而这些侧边缘位于通道间隙的二端处。信道保护层覆盖信道间隙内的金属氧化物半导体层，并凸出于金属氧化物半导体层的这些侧边缘。本发明的晶体管数组基板可以保护金属氧化物半导体免于被制程用的气体所影响。

主权项

一种晶体管数组基板，其特征在于，包括：一基板；多条扫描线与多条数据线，皆配置在该基板上，并且彼此交错；多个画素单元，各该画素单元包括一晶体管与一画素电极，各该晶体管包括：一闸极，配置于该基板上，并电性连接其中一该扫描线；一汲极，电性连接其中一该画素电极；一源极，电性连接其中一该数据线，其中该汲极与该源极之间存有一通道间隙；一金属氧化物半导体层，配置于该闸极与该汲极之间，以及该闸极与该源极之间，并具有一对侧边缘，其中该些侧边缘彼此相对，并位于该通道间隙的二端处；一信道保护层，覆盖该通道间隙内的该金属氧化物半导体层，并凸出于该金属氧化物半导体层的该些侧边缘；以及多个第一保护垫，配置于该些扫描线与该些数据线之间，并分别位于该些扫描线与该些数据线的交错处，其中各该第一保护垫包括一第一垫层与一第二垫层，而该些第一垫层位于该些第二垫层与该些扫描线之间。