[发明专利]红外吸收结构及基于该结构的非致冷红外探测器

摘要

本发明公开了一种红外吸收结构和基于该结构的非致冷红外探测器。这种结构由依次叠置的底部高电导率红外反射层、第一绝缘层、红外敏感层、第二绝缘层和表面结构层组成，其中表面结构层为采用非金属导电材料制作的具有二维周期分布的圆形或方形岛点阵。基于该结构易于通过选择合适的表面导电特性来设计具有一定谱宽的高红外吸收结构，同时获得宽角度红外响应。基于这种红外吸收结构的红外探测器具有低热质量和热隔离空腔高度不限的特点，且对红外辐射入射角度不敏感，可广泛应用于红外生化传感器、红外光谱仪、非致冷红外热像仪等领域。

主权项

一种红外吸收结构，其特征在于，它包括逆着红外辐射的入射方向依次叠置的底部红外反射层，第一绝缘层，红外敏感层和表面结构层，其中表面结构层是由可调电导率薄膜材料组成的具有圆形或方形形状的岛状阵列结构，这种阵列结构按照二维矩形或六角形周期分布排列。