[发明专利]一种多晶硅铸锭的掺杂方法及其实现该方法的铸锭设备

摘要

本发明公开了一种太阳能多晶硅铸锭的掺杂方法及其掺杂设备，其掺杂方法包括：1、将不低于50％的原生硅料及其回收的杂料置于坩埚内，将坩埚装入铸锭炉内；2、将铸锭炉升温，当硅料全部融化时，从熔融的硅液中提取出一部分多晶硅液凝固成多晶硅块，快速冷却到室温后对多晶硅块进行导电类型和电阻率测试；3、根据多晶硅块的导电类型和电阻率测量数据计算掺杂硼母合金的重量；4、将所计算的硼母合金添加到铸锭炉内熔融的多晶硅料中进行铸锭。其掺杂设备包括石英坩埚、铸锭炉、充氮冷却副室、熔融硅料石英提取棒和硼母合金进料勺。使用本发明的方法抽测硅料评估硅料整体质量性能精确度高，故计算掺杂硼母合金的重量准确，废品率低。本发明的设备结构简单，使用方便。

主权项

一种太阳能多晶硅铸锭的掺杂方法，其包括步骤：(1)将不低于50％的原生硅料及其回收的杂料置于石英坩埚内，将石英坩埚装入铸锭炉内；其特征在于：其还包括以下步骤：(2)将铸锭炉升温，当硅料全部融化时，从熔融的硅液中提取出一部分多晶硅液，将提取的多晶硅液凝固成多晶硅块，快速冷却到室温后对多晶硅块进行导电类型和电阻率测试；(3)根据多晶硅块的导电类型和电阻率测量数据计算掺杂硼母合金的重量；(4)将所计算的硼母合金添加到铸锭炉内熔融的多晶硅料中进行铸锭。