[发明专利]电性对准标记组及其用法有效
| 申请号： | 201110086707.5 | 申请日： | 2011-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN102222661A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 任兴华 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/68;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 刘云贵 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电性对准标记组及其使用方法。此电性对准标记组包含一顶标记与一底标记。顶标记包含位于顶晶圆的多个垫，以及与这些垫所电连接的监督介层道。底标记包含多个底垫，有的与监督介层道对应，而有的与此等垫对应。多个底垫彼此电连接，使得当顶标记与底标记彼此对准时，监督介层道得以通过此等底垫同时电连接多个垫。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 及其 用法 | ||
【主权项】：
一种电性对准标记组，其特征在于包含：一顶标记，其包含一起位于一顶晶圆的一第一垫、一第二垫、一第三垫与一第四垫，与位于该顶晶圆中并与该第一垫以及该第二垫电连接的至少一监督介层道；以及位于一底晶圆的一底标记，其包含彼此电连接的一第一底垫与一第二底垫，其中该顶晶圆与该底晶圆一起形成一晶圆层迭，而该第一底垫对应该监督介层道，而该第二底垫对应该第三垫与该第四垫。
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