[发明专利]紫外增强微型光纤光谱仪

摘要

本发明涉及一种紫外增强微型光纤光谱仪，依照光路经过该光谱仪各元件的次序，该光谱仪包含有：一SM905光纤接口6，一狭缝单元7；一光阑8，一准直反射镜11，一光栅9，一聚焦反射镜5，一CCD探测器3；所述准直反射镜11和聚焦反射镜5之间设置有挡光板10，所述狭缝单元7包含有石英基材，所述石英基材上镀有不透光的金属膜，所述金属膜光刻有一个5~100um宽的狭缝；所述光栅9为全息光栅，所述准直反射镜11、聚焦反射镜5和光栅9表面均镀有铝。本发明紫外增强微型光纤光谱仪，动态范围大，紫外响应效率和灵敏度高。

主权项

一种紫外增强微型光纤光谱仪，依照光路经过该光谱仪各元件的次序，该光谱仪包含有：一SM905光纤接口（6），通过光纤将光源的光束导入；一狭缝单元（7）；一准直反射镜（11），对光束进行反射聚焦；一光栅（9），接收并使光束色散；一聚焦反射镜（5），对经光栅（9）色散后的光束进行反射聚焦；一CCD探测器（3），对光束进行光电转换； 其特征在于：所述狭缝单元（7）和准直反射镜（11）之间设置有光阑（8）；所述准直反射镜（11）和聚焦反射镜（5）之间设置有挡光板（10），所述狭缝单元（7）包含有石英基材，所述石英基材上镀有不透光的金属膜，所述金属膜光刻有一个宽度为5~100um的狭缝；所述光栅（9）为全息光栅，所述准直反射镜（11）、聚焦反射镜（5）和光栅（9）表面均镀有铝；所述光谱仪还包含有一前置放大电路（2），所述前置放大电路（2）与CCD探测器（3）相连；所述光谱仪还包含有光学平台基座（1），所述光学平台基座（1）上压置有一盖板，并构成一密闭腔体，所述SM905光纤接口（6）穿接于该密闭腔体的侧壁上，所述狭缝单元（7）、光阑（8）、准直反射镜（11）、光栅（9）、聚焦反射镜（5）、CCD探测器（3）和前置放大电路（2）均位于该密闭腔体内，所述密闭腔体内还设置有消杂散光板（4）。