[发明专利]一种有机多层薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201110084673.6 | 申请日： | 2011-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN102185109A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 刘键 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机多层薄膜的制备方法，属于有机多层薄膜制备技术领域。所述方法包括：在两个基片的金属电极上沉积不同的有机物薄膜；将两个基片的有机物薄膜层对准接触，并对至少一个基片加热；待至少一个基片温度进入预设温度范围后，对两个基片施加方向相反的压力。本发明通过在先完成金属电极的制作工艺后进行有机薄膜的低温生长，克服了现有金属电极制作工艺中高能金属原子或离子对有机分子薄膜性能的不利影响，在器件制作方面最大限度地提高了有机器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机 多层 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种有机多层薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：在两个基片的金属电极上沉积不同的有机物薄膜；将两个基片的有机物薄膜层对准接触，并对至少一个基片加热；待至少一个基片温度进入预设温度范围后，对两个基片施加方向相反的压力。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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