[发明专利]基于弧形梳齿的大位移静电驱动微夹持器

摘要

本发明公开了一种基于弧形梳齿的大位移静电驱动微夹持器，用于微操作系统、微小机器人、微装配、微焊接以及微小物体的搬迁操作，属于微机电系统领域。本发明在微夹持器的弧形活动梳齿、固定梳齿分别施加不同的驱动电压，活动梳齿在静电力驱动下带动微夹持臂摆动实现微夹持器的开合动作。在工作过程中，微夹持器产生较大开合角度和位移时，弧形活动梳齿与固定梳齿之间产生圆周相对运动，梳齿间距几乎不发生改变，因此就不易发生侧向吸合，所以，采用弧形静电梳齿驱动的微夹持器可以实现较大的开合角度和位移。

主权项

一种基于弧形梳齿的大位移静电驱动微夹持器，其特征在于：包括左夹持臂部件(1)和右夹持臂部件(21)；左夹持臂部件(1)包括张开驱动弧形固定梳齿组件I(2)、闭合驱动弧形固定梳齿组件I(3)和活动夹持臂组件；所述驱动弧形固定梳齿组件I(2)包括一组固定在梁I(5)上的弧形固定梳齿I(6)，梁I(5)两端固定在锚点I(4)上；所述闭合驱动弧形固定梳齿组件I(3)包括一组固定在梁II(14)上的弧形固定梳齿II(12)，梁II(14)两端固定在锚点II(13)上；两组弧形活动梳齿I(7)分别与弧形固定梳齿I(6)和弧形固定梳齿II(12)构成两组弧形梳齿驱动器；所述的两组弧形活动梳齿I(7)位于夹持臂I(9)上，夹持臂I(9)一端固定在锚点III(8)上，另一端连接夹持臂端I(10)；右夹持臂部件(21)和左夹持臂部件(1)为对称结构，右夹持臂部件(21)包括张开驱动弧形固定梳齿组件II(22)、闭合驱动弧形固定梳齿组件II(23)和活动夹持臂组件；所述驱动弧形固定梳齿组件II(22)包括一组固定在梁III(25)上的弧形固定梳齿III(26)，梁III(25)两端固定在锚点IV(24)上；所述闭合驱动弧形固定梳齿组件II(23)包括一组固定在梁IV(34)上的弧形固定梳齿组件IV(32)，梁IV(34)两端固定在锚点V(33)上；两组弧形活动梳齿II(27)分别与弧形固定梳齿III(26)和弧形固定梳齿IV(32)构成两组弧形梳齿驱动器；所述的两组弧形活动梳齿II(27)位于夹持臂II(29)上，夹持臂II(29)一端固定在锚点VI(28)上，另一端连接夹持臂端II(30)；左夹持臂部件(1)上的夹持臂端I(10)和右夹持臂部件(21)的夹持臂端II(30)构成一个可以开合的夹持臂。