[发明专利]一种垂直结构多层片上集成螺旋电感

摘要

本发明公开了一种垂直结构多层片上集成螺旋电感，通过将电感打造为垂直于水平面的结构，不仅减小了电感覆盖衬底的面积，同时层叠结构会削弱普通电感在衬底中由时变磁场磁耦合感应的涡流，由此一来，减小了在衬底中以及衬底表面区域产生的感应电流，从而达到降低衬底能量损耗和提高电感品质因数的作用。

主权项

一种垂直结构多层片上集成螺旋电感，包括3层金属层，其特征在于金属线（11）的一端经过通孔（V11）和金属线（12）的一端相连，金属线（12）的另一端经过通孔（V12）、金属线（13）及通孔（V13）和金属线（14）的一端相连，金属线（14）的另一端经过通孔（V14）、金属线（15）、通孔（V15）和金属线（21）的一端相连，金属线（21）的另一端经过通孔（V21）、金属线（22）、通孔（V22）和金属线（23）的一端相连，金属线（23）的另一端经过通孔（V23）和金属线（24）的一端相连，金属线（24）的另一端经过通孔（V31）和金属线（31）的一端相连，金属线（31）的另一端经过通孔（V32）、金属线（32）、通孔（V33）和金属层（33）的一端相连 ，金属层（33）的另一端经过通孔（V34）和金属线（34）的一端相连；所述金属线（12）、金属线（21）和金属线（33）同属于第一金属层且相互绝缘；所述金属线（11）、金属线（13）、金属线（15）、金属线（22）、金属线（24）、金属线（32）和金属线（34）同属于第二层金属且相互绝缘；所述金属线（14）、金属线（23）、金属线（31）同属于第三层金属且相互绝缘。