[发明专利]半导体元件及其制作方法与图像感测元件

摘要

本发明提供一种半导体元件及其制作方法与图像感测元件。图像感测元件包括：一像素，位于一基板中；一第一微透镜，内埋于位于基板上的一膜层中，第一微透镜的一第一上表面具有一角状的顶端；一彩色滤光片，位于膜层上；以及一第二微透镜，位于彩色滤光片上，第二微透镜的一第二上表面具有一接近圆形的轮廓；其中像素、第一微透镜、彩色滤光片、以及第二微透镜皆至少部分彼此对齐。本发明的半导体元件的制作工艺相当快速且便宜，而且光聚焦性能较佳。

主权项

一种半导体元件，包括：一辐射感测单元，形成于一基板中；一透明膜层，形成于该基板上；以及一微透镜，内埋于该透明膜层中，其中该微透镜具有一尖顶端部。