[发明专利]一种均匀浅发射极太阳电池的制备方法有效

专利信息
申请号: 201110048148.9 申请日: 2011-02-28
公开(公告)号: CN102157585A 公开(公告)日: 2011-08-17
发明(设计)人: 沈辉;冯成坤 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: H01L31/042 分类号: H01L31/042;H01L31/18
代理公司: 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人: 李海波
地址: 510275 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种均匀浅发射极太阳电池的制备方法,该制备方法是首先对制绒后的硅片进行重扩散形成p-n结,然后去除非受光面的p-n结或者去除硅片边缘的p-n结,清洗去除硅片表面的氧化层,接着对硅片受光面进行浸润处理增强表面亲水性,再对受光面发射极进行全范围均匀腐蚀形成全范围浅发射极,并对发射极进行表面疏水性处理,然后在硅片受光面沉积功能介质薄膜,最后进行正负电极和背面场制备并烧结形成均匀浅发射极太阳电池。采用本发明方法制备的太阳电池具有制备成本低,转换效率高并适合工业化大规模生产的优点,具有很好的经济效益。
搜索关键词: 一种 均匀 发射极 太阳电池 制备 方法
【主权项】:
一种均匀浅发射极太阳电池的制备方法,其特征在于,首先对制绒后的硅片进行重扩散形成p‑n结,然后去除非受光面的p‑n结或者去除硅片边缘的p‑n结,清洗去除硅片表面的氧化层,接着对硅片受光面进行浸润处理增强表面亲水性,再对受光面发射极进行全范围均匀腐蚀形成全范围浅发射极,并对发射极进行表面疏水性处理,然后在硅片受光面沉积功能介质薄膜,最后进行正负电极和背面场制备并烧结形成均匀浅发射极太阳电池。
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