[发明专利]面内模态周向行波薄型压电蠕动泵

摘要

本发明公开了一种面内模态周向行波薄型压电蠕动泵，包括压电陶瓷环、金属弹性体圆环、硅管、半圆环形硅管装置、绝缘垫圈、固定螺栓、固定螺帽、调整用螺栓和调整用螺帽，压电陶瓷环与金属弹性体圆环粘接，两者组成圆盘型压电复合振子；半圆环形硅管装置两端开有进管孔和出管孔，硅管从进管孔引入，从出管孔引出，设置于圆盘型压电复合振子与半圆环形硅管装置之间；半圆环形硅管装置通过调整用螺栓和调整用螺帽固定于圆盘型压电复合振子外圆周，圆盘型压电复合振子通过固定螺栓和固定螺帽进行固定，且在固定螺帽处设置绝缘垫圈。本发明结构简单、体积小、易于拆装、工作可靠、成本低、易实现低电压驱动，可广泛用于高散热需求的电子元器件的冷却系统中。

主权项

面内模态周向行波薄型压电蠕动泵，其特征在于，包括压电陶瓷环、金属弹性体圆环、硅管、半圆环形硅管装置、绝缘垫圈、固定螺栓、固定螺帽、调整用螺栓和调整用螺帽；所述金属弹性体圆环包括内孔金属弹性体圆环和外圆周金属弹性体圆环；所述压电陶瓷环内侧与内孔金属弹性体圆环连接，外侧与外圆周金属弹性体圆环连接，三者组成圆盘型压电复合振子；所述半圆环形硅管装置两端开有进管孔和出管孔，硅管从进管孔引入，从出管孔引出，设置于圆盘型压电复合振子与半圆环形硅管装置之间；半圆环形硅管装置通过调整用螺栓和调整用螺帽固定于圆盘型压电复合振子外圆周，所述圆盘型压电复合振子通过固定螺栓和固定螺帽进行固定，且在固定螺帽处设置绝缘垫圈。