[发明专利]一种离子植入机用离子束监测装置无效
| 申请号： | 201110038837.1 | 申请日： | 2011-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN102646567A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 陈雪峰;王冬晶 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子植入机用离子束监测装置，其包括有多个法拉第杯，形成规则排列的矩阵，用以监测离子植入机腔体内多个位置的离子束。本发明可以实时监测多个位置的离子束大小，从而可以控制植入过程中的离子均匀度。此外，通过法拉第杯矩阵的联合监测，能够量测到离子束的高度和宽度，并可以便捷地确定离子束密度，显著地改善了离子植入制程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 植入 离子束 监测 装置 | ||
【主权项】：
一种离子植入机用离子束监测装置，包括有法拉第杯，其特征在于，所述法拉第杯有多个，形成规则排列的矩阵，用以监测离子植入机腔体内多个位置的离子束。
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