[发明专利]洁净容器干燥装置无效
申请号: | 201110038257.2 | 申请日: | 2011-02-15 |
公开(公告)号: | CN102072616A | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
发明(设计)人: | 沈斌;施军民;浦爱东;陆平;蔡岩馨;吉敏坤;孙祥祯 | 申请(专利权)人: | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
主分类号: | F26B7/00 | 分类号: | F26B7/00;F26B25/00 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 王玉国;陈忠辉 |
地址: | 215021 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种洁净容器干燥装置,包括洁净烘箱和置于洁净烘箱中的洁净容器罐,洁净容器罐连接抽烘管路,抽烘管路连接至置换气体管路,抽烘管路上还连接有检漏仪和冷阱,冷阱通过管路连接真空泵的进口。抽烘管路可根据容器罐接口要求进行转接,可对高漏率要求的容器罐检漏,操作在一个完全密闭的洁净条件下进行,对洁净度要求高的容器罐干燥过程中不会产生污染,实现了烘干与换气的一体化,节约了时间,提高了高纯危险化学品的储存环境,大大缩短了烘干与换气周期。 | ||
搜索关键词: | 洁净 容器 干燥 装置 | ||
【主权项】:
洁净容器干燥装置,包括洁净烘箱和置于洁净烘箱中的洁净容器罐,其特征在于:所述洁净容器罐连接抽烘管路,所述抽烘管路连接至置换气体管路,所述抽烘管路上还连接有检漏仪和冷阱,所述冷阱通过管路连接真空泵的进口。
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