[发明专利]微分型电迁移率分级装置、粒子测量系统以及粒子筛选系统

摘要

为了提供一种可容易地增大能够分级的带电粒子的粒径的上限值，并且能够分析粒径可能会发生变化的带电粒子的微分型电迁移率分级装置，本发明的DMA(微分型电迁移率分级装置)包括：分级槽、气体供给部以及电压源；分级槽，其中依次配置有彼此相隔规定距离且相对而设的入口电极、中间电极以及出口电极，所述入口电极、中间电极以及出口电极分别具有入口狭缝、狭缝、出口狭缝；气体供给部，其对分级槽供给鞘气；电压源，其在彼此相对的所述电极之间施加规定的电压；并且，分级槽具有在每组彼此相对的所述电极之间形成的第1分级部和第2分级部，所述气体供给部对供给到分级槽的所述鞘气的流量，在第1分级部和第2分级部分别进行控制。

主权项

一种微分型电迁移率分级装置，其根据电迁移率来对带电的粒子进行分级，其特征在于，包括：分级槽，其中依次配置有彼此相隔规定距离且相对而设的n个面状电极，所述电极具有使带电的粒子穿过的狭缝；气体供给部，其对所述分级槽供给鞘气；以及电压供给部，其在所述分级槽内的彼此相对的所述电极间施加规定的电压，并且，所述分级槽具有在每组彼此相对的所述电极之间形成的，将带电粒子进行分级的n‑1级的分级部，所述n为3以上的整数，所述气体供给部对供给到所述分级槽的所述鞘气的流量，在所述每个分级部分别进行控制。