[发明专利]接触扫描探头的等张力悬吊机构

摘要

本发明公开了接触扫描探头的等张力悬吊机构：具有一固定环，固定环内通过对称的四条线悬吊有悬浮片，悬浮片中心固定有扫描探针，扫描探针前端具有球形头，悬浮片上面贴有若干高精密平面反射镜。所述的高精密平面反射镜为2-5片。本发明通过在固定环内通过对称的四条线悬吊有悬浮片，悬浮片中心固定有扫描探针，悬浮片上面贴有若干高精密平面反射镜的结构，可以将扫描探针的空间位移转化成平面镜在竖直方向的移动和绕悬线的转动。平面反射镜的位移和转角可以通过布置在平面反射镜上方的传感器测得，经过换算即可得知扫描探针的位移，从而实现测量。

主权项

接触扫描探头的等张力悬吊机构，具有一固定环，固定环内设有悬浮片，悬浮片上面安装有若干个平面反射镜，悬浮片中心固定有扫描探针，扫描探针前端具有球形测头，其特征在于所述的悬浮片内有垂直交叉贯穿的通孔，有一根悬线依次穿过垂直交叉贯穿的通孔并环绕固定在固定环上。