[发明专利]用于在波动的供给压力下以受控方式配量气体的方法和装置

摘要

本发明提供一种用于在波动的供给压力（PSupply）下以受控方式配量气体的方法。在阀（5）关闭时，通过阀（6）进行配量所述气体，并且记录控制体积压力（PCV）的下降。所述控制体积压力（PCV）通过关闭配量阀（6）和打开所述阀（5）升高。配量气体量根据阀（5）关闭周期中控制体积压力（PCV）以及控制体积温度（TCV）的变化中的至少一个和所述控制体积（4）的已知体积来计算。将所述配量气体量与目标配量的量或设置点相比较，以调整或调节所述随后的配量周期或配量事件。

主权项

一种用于在气体的波动供给压力（PSupply）下以受控方式配量所述气体的方法，所述气体通过从固体存储材料（3；3a）脱附产生，所述方法通过使用一种设备进行，所述设备包括：控制体积（4），所述控制体积具有已知的体积（VCV）；供给阀（5），所述供给阀控制气体源（14）和所述控制体积（4）之间的流体连通；配量阀（6），所述配量阀控制所述控制体积（4）和气体所配量到的过程（15）之间的流体连通；压力传感器（7）和温度传感器（8），所述压力传感器和温度传感器测量所述控制体积（4）中的气体的压力（PCV）和温度（TCV）；所述方法包括：a.在所述供给阀（5）关闭的同时，通过所述配量阀（6）配量气体，并且记录控制体积压力（PCV）的下降；b.通过关闭所述配量阀（6）和打开所述供给阀（5）升高所述控制体积压力（PCV）；和c.根据阀（5）关闭周期中的控制体积压力（PCV）和控制体积温度（TCV）的变化的至少一个和所述控制体积（4）的已知体积（VCV），计算配量气体量；d.比较所述配量气体量和目标配量的量或设置点，以调整或调节随后的配量周期或配量事件。