[发明专利]抛光垫及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201080063912.3 申请日: 2010-12-20
公开(公告)号: CN102762340A 公开(公告)日: 2012-10-31
发明(设计)人: 李乃朝;威廉·D·约瑟夫 申请(专利权)人: 3M创新有限公司
主分类号: B24D3/28 分类号: B24D3/28;B24D3/34
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 张爽;郭国清
地址: 美国明*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明涉及具有多孔抛光层的抛光垫,制造这种抛光垫的方法,以及在抛光工艺中使用这种抛光垫的方法。所述抛光垫包括柔顺层和多孔抛光层,所述柔顺层具有第一和第二相对侧,所述多孔抛光层设置在所述柔顺层的第一侧上。所述多孔抛光层包括交联网络,其包括热固化组分和辐射固化组分,其中所述辐射固化组分和所述热固化组分在所述交联网络中共价键合。所述多孔抛光层还包括分散在所述交联网络中的聚合物粒子,其中所述聚合物粒子包括热塑性聚合物或热固性聚合物中的至少一种。所述多孔抛光层通常还包括分散在所述交联网络中的闭孔。
搜索关键词: 抛光 及其 制造 方法
【主权项】:
一种抛光垫,其包括:柔顺层,其具有相对的第一和第二侧;以及多孔抛光层,其设置在所述柔顺层的第一侧上,所述多孔抛光层包括:交联网络,其包括热固化组分和辐射固化组分,其中所述辐射固化组分和所述热固化组分在所述交联网络中共价键合;聚合物粒子,其分散在所述交联网络中;以及闭孔,其分散在所述交联网络中。
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