[发明专利]氮化硅基坩埚无效
| 申请号： | 201080059017.4 | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102725443A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | H·索尔海姆;A·索尔海姆;E·范德朔特布鲁格 | 申请（专利权）人： | 圣戈班工业陶瓷罗登塔尔有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B23/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 吕彩霞;杨思捷 |
| 地址： | 德国罗*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可重复使用的含氮化硅坩埚以及该坩埚用于结晶硅的用途，该坩埚包括以下的至少一种：浓度＜19ppmw的硼(B)或含硼化合物；以及浓度＜3.7ppmw的磷(P)或含磷化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 坩埚 | ||
【主权项】：
一种用于结晶硅的可重复使用的含氮化硅坩埚，其特征在于，所述坩埚包含以下的至少一种：浓度＜19ppmw的硼或含硼化合物；以及还包含下面的至少一种：浓度＜3.7ppmw的磷或含磷化合物。
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