[发明专利]电阻变化型元件及其制造方法

摘要

在以M为一种过渡金属元素、以O为氧时，包括：下部电极；第一氧化物层，其在上述下部电极上形成，在令O相对于M的组成比为x时由MOx构成；第二氧化物层，其在上述第一氧化物层上形成，在令O相对于M的组成比为y时由MOy构成；在上述第二氧化物层上形成的上部电极；保护层，其在上述上部电极上形成，由具有与上述上部电极不同的组成的导电性材料构成；以覆盖上述保护层的方式形成的层间绝缘层；和在贯通上述层间绝缘层的上部接触孔内形成的上部接触栓。

主权项

一种电阻变化型元件，其特征在于：在以M为一种过渡金属元素、以O为氧时，包括：下部电极；第一氧化物层，其在所述下部电极上形成，在令O相对于M的组成比为x时由MOx构成，其中，x为正数；第二氧化物层，其在所述第一氧化物层上形成，在令O相对于M的组成比为y时由MOy构成，其中，y＞x；在所述第二氧化物层上形成的上部电极；保护层，其在所述上部电极上形成，由具有与所述上部电极不同的组成的导电性材料构成；以覆盖所述保护层的方式形成的层间绝缘层；和在贯通所述层间绝缘层的上部接触孔内形成的上部接触栓，其中所述上部电极具有向所述第二氧化物层突出且不贯通所述第二氧化物层的多个微小突起，所述上部接触栓，与所述上部电极物理上不接触，而与所述保护层物理上接触，由此与所述上部电极电连接。