[发明专利]操控离子束的系统与方法有效
| 申请号： | 201080055374.3 | 申请日： | 2010-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN102696091A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 法兰克·辛克莱;维克多·M·本夫尼斯特;史费特那·瑞都凡诺;詹姆士·S·贝福 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明;张洋 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于操控具有主轴(7)的离子束(104)的系统，其包含具有第一线圈以及第二线圈的上部部件，所述线圈大体配置于所述上部部件的不同区域中且经组态以独立于彼此而分别传导第一电流(808或810)以及第二电流(808或810)。下部部件包含第三线圈以及第四线圈，所述线圈大体配置成与各别第一线圈以及第二线圈相对且经组态以独立于彼此而分别传导第三电流(812或814)以及第四电流(814或812，分别地)。透镜间隙(306)界定于所述上部部件与所述下部部件之间，且经组态以传输所述离子束，其中所述第一电流至所述第四电流产生45度四极场，所述四极场围绕所述离子束的主轴在所述离子束上施加旋转力(F5，F6)。 | ||
| 搜索关键词： | 操控 离子束 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种四极透镜，其用于操控具有主轴的离子束，其包括：上部部件，其具有第一线圈以及第二线圈，所述第一线圈以及所述第二线圈大体配置于所述上部部件的不同区域中且经组态以独立于彼此而分别传导第一电流以及第二电流；下部部件，其具有第三线圈以及第四线圈，所述第三线圈以及所述第四线圈大体配置成与各别所述第一线圈以及所述第二线圈相对且经组态以独立于彼此而分别传导第三电流以及第四电流；以及透镜间隙，其界定于所述上部部件与所述下部部件之间，且经组态以传输所述离子束，其中所述第一电流至所述第四电流产生45度四极场，所述45度四极场围绕所述离子束的所述主轴在所述离子束上施加旋转力。
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