[发明专利]环状化合物、其生产方法、放射线敏感性组合物和抗蚀图案的形成方法

摘要

公开的是：在安全溶剂中具有高溶解度、高灵敏度并能够提供具有良好形状抗蚀图案的环状化合物；生产该环状化合物的方法；包含该环状化合物的放射线敏感性组合物；和使用该放射线敏感性组合物形成抗蚀图案的方法。具体公开的是：具有特定结构的环状化合物；包含该化合物的放射线敏感性组合物；和使用该组合物形成抗蚀图案的方法。

主权项

1.一种由下式(1)表示的环状化合物：[化学式1](在所述式(1)中，L独立地为选自由单键、碳数为1-20的线性或支化亚烷基、碳数为3-20的亚环烷基、碳数为6-24的亚芳基、-O-、-OC(=O)-、-OC(=O)O-、-N(R⁵)-C(=O)-、-N(R⁵)-C(=O)O-、-S-、-SO-、-SO₂-及其任何组合组成的组中的二价基团；R¹独立地为碳数为1-20的烷基、碳数为3-20的环烷基、碳数为6-20的芳基、碳数为1-20的烷氧基、氰基、硝基、羟基、杂环基、卤素、羧基、碳数为2-20的酰基、碳数为1-20的烷基甲硅烷基或氢原子，条件是至少一个R¹是氢原子；R’独立地由下式(1-2)表示：[化学式2]在所述式(1-2)中，R⁶为氢原子或选自由碳数为1-12的烷基、碳数为3-12的环烷基、碳数为6-12的芳基、碳数为1-12的烷氧基、氰基、硝基、杂环基、卤素、羧基、羟基和碳数为1-12的烷基甲硅烷基组成的组中的基团；R⁵为氢原子或碳数为1-10的烷基；m是1-4的整数；n是0-5的整数；p是0-5的整数；和q是0-5的整数)。