[发明专利]具有凹面衍射光栅的光学分光计有效
| 申请号： | 201080052222.8 | 申请日： | 2010-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102713541A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | E·弗勒泰尔;M·卡萨雷斯;O·博诺;O·罗热里厄斯 | 申请（专利权）人： | 堀场乔宾伊冯公司 |
| 主分类号： | G01J3/20 | 分类号： | G01J3/20;G01J3/36 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有凹面衍射光栅的光学分光计，其包括：入射狭缝（3），适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束（5）；凹面衍射光栅（1），适合于接收具有入射角α的所述入射光束（5）并衍射所述光束以形成衍射光束，所述衍射光束与所述光栅（1）的法线形成角β(λ)；至少一个凹面镜（8、8a、8b、8c），由具有半径为rcyl的圆形截面的柱面的一部分构成，所述镜（8、8a、8b、8c）适合于接收沿方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）并将所述光束聚焦在至少一个出射狭缝（4、4a、4b、4c）上；以及至少一个光检测器（9、9a、9b、9c），其被光学耦合到所述出射狭缝（4、4a、4b、4c）以测量被衍射并由柱面镜（8、8a、8b、8c）聚焦的所述光束。根据本发明，所述镜（8、8a、8b、8c）位于叶形线上，该叶形曲线在所述衍射光栅（1）的方向上与沿所述方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）在罗兰圆（2）上的焦点相距距离d(λ)处，其中：d(λ)=rcyl/23/2/cos(β)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 凹面 衍射 光栅 光学 分光计 | ||
【主权项】：
一种凹面衍射光栅光学分光计，包括：入射狭缝（3），其适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束（5）；凹面衍射光栅（1），其适合于接收具有入射角α的所述入射光束（5）并衍射所述光束以形成衍射光束（6、6a、6b、6c），所述衍射光束与所述光栅（1）的法线形成角β(λ)；至少一个凹面镜（8、8a、8b、8c），其由半径为rcyl且截面为圆形的柱面的一部分形成，所述镜（8、8a、8b、8c）适合于接收沿方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）且将所述衍射光束聚焦在至少一个出射狭缝（4、4a、4b、4c）上；以及至少一个光检测器（9、9a、9b、9c），其被光学耦合到所述出射狭缝（4、4a、4b、4c）以测量被衍射并由所述柱面镜（8、8a、8b、8c）聚焦的所述光束（6、6a、6b、6c），其特征在于，所述镜（8、8a、8b、8c）位于叶形线（7）上，该叶形线在所述衍射光栅（1）的方向上与沿所述方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）在罗兰圆（2）上的焦点相距距离d(λ)处，其中：d(λ)=rcyl/23/2/cos(β)。
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