[发明专利]N型硫属化物组合物的制备以及它们在光伏器件中的使用有效

专利信息
申请号: 201080049999.9 申请日: 2010-10-26
公开(公告)号: CN102598312A 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 托德·R·布里登;巴福德·I·莱蒙;约瑟夫·乔治;丽贝卡·克里斯汀-里格曼·费斯特 申请(专利权)人: 陶氏环球技术有限责任公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 陈平
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 在氧化性气体的存在下在基板上设置n型硫属化物组合物层,所述氧化性气体的量足以对于所述层提供这样的电阻率:所述电阻率低于在相同的条件下但是在基本上不存在氧的情况下沉积的层的电阻率。
搜索关键词: 型硫属化物 组合 制备 以及 它们 器件 中的 使用
【主权项】:
一种制备n型硫属化物组合物的方法,所述方法包括以下步骤:提供基板;和在包含氧化性气体以及任选地至少一种其他气体的氧化性气氛中,在所述基板的表面上形成n型硫属化物组合物,其中所述氧化性气体以使得如下的量存在:所形成的n型组合物的电阻率低于在其他方面相同的工艺中但是在基本上不存在所述氧化性气体的情况下形成的n型硫属化物组合物的电阻率。
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