[发明专利]市面上的电致变色器件所用的材料及器件叠层有效

专利信息
申请号: 201080047891.6 申请日: 2010-10-22
公开(公告)号: CN102666911A 公开(公告)日: 2012-09-12
发明(设计)人: 秉圣·利奥·郭;考施·K·辛格;约瑟夫二世·G·戈登;奥姆卡拉姆·诺拉马苏 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/50;C23C14/08;C23C14/56
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;钟强
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明大体上涉及诸如用于电致变色窗(ECW)中的电致变色(EC)器件及其制造方法。EC器件可能包含:透明基板;第一透明导电层;经掺杂的变色层,其中所述变色层掺杂剂提供所述变色层中的原子排列的结构稳定性;电解质层;在所述电解质层上的经掺杂的阳极层,其中所述阳极层掺杂剂提供所述经掺杂的阳极层的提高的导电率;以及第二透明导电层。一种制造电致变色器件的方法,可包括在基板上按顺序沉积第一透明导电层、经掺杂的变色层、电解质层、经掺杂的阳极层以及第二透明导电层,其中所述经掺杂的变色层、所述电解质层以及所述经掺杂的阳极层中的至少一层采用组合式等离子体沉积工艺溅射沉积。
搜索关键词: 市面 变色 器件 所用 材料
【主权项】:
一种制造电致变色器件的方法,包括:在基板上沉积第一透明导电层;在所述第一透明导电层上沉积经掺杂的变色层;在所述经掺杂的变色层上沉积电解质层;在所述电解质层上沉积经掺杂的阳极层;以及在所述经掺杂的阳极层上沉积第二透明导电层;其中所述经掺杂的变色层、所述电解质层以及所述经掺杂的阳极层中的至少一层使用组合式等离子体沉积工艺溅射沉积。
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