[发明专利]具有增加的扫描速度的光学探针系统

摘要

一种具有探针的光学探针系统，该探针具有含有远端的光波导(G)。光波导(G)安装在外壳(H)内部，以使得远端相对于外壳(H)可产生位移。一组例如电磁驱动线圈的致动器(A)可以通过施加驱动信号(Vx，Vy)来使远端产生位移。控制单元(CU)产生驱动信号(Vx，Vy)以提供根据驱动信号(Vx，Vy)的幅值而变化的扫描频率。使用这样的探针系统，能够以随着扫描半径而变化的扫描频率来扫描视场。考虑到最大允许驱动电流，与以光学系统的机械共振频率扫描相比，由于能够以高扫描频率来扫描小半径，因此能够增加扫描速度。

主权项

一种光学探针系统，包括：‑探针，包括：‑具有远端的光波导(G)；‑外壳(H)，所述光波导(G)安装在所述外壳(H)内部，以使得所述远端相对于所述外壳(H)可产生位移；以及‑包括一组致动器的致动系统(A)，其能够通过将驱动信号(Vx，Vy)施加至该组致动器而引起的位移力使所述远端产生位移；以及‑可操作地连接到所述探针的控制单元(CU)，所述控制单元(CU)设置为产生至该组致动器的所述驱动信号(Vx，Vy)，以根据视场上的扫描形式来使所述远端产生位移，其中所述控制单元(CU)产生所述驱动信号(Vx，Vy)，以提供根据所述驱动信号(Vx，Vy)的幅值而变化的扫描频率。